1.硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
2. 晶圆制造 厂在融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。
3.硅晶棒再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻、包装后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
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